Les rayons X sont des radiations électromagnétiques. L’énergie des photons X émis dans le MEB est comprise entre 0.5 et 30 KeV.
Le faisceau d’électrons du microscope est capable d’éjecter des électrons des différentes couches électroniques des atomes constituant le matériau observé. Lorsqu’un électron est éjecté il est remplacé par un électron d’une couche supérieure. Un photon d’énergie égale à la différence d’énergie entre les deux couches est émis.
Il en résulte une émission en cascade jusqu’au remplacement des électrons des dernières couches.
Si le faisceau est capable d’éjecter des électrons de la couche la plus profonde il y aura donc émission de toutes les raies caractéristiques de l’atome c’est le spectre de raies.
Le rayonnement caractéristique d’un atome est constitué par des raies qui portent le nom de la couche sur laquelle l’électron arrive.
Dans l’ordre du plus énergétique vers le moins énergétique on trouve les raies K, L, M,…qui sont affectées d’une lettre grecque, et d’un chiffre pour indiquer de quelle couche et sous couche l’électron provient.
Plus le noyau de l’atome est lourd (Z élevé) plus les énergies des photons seront importantes.
Il se superpose au spectre de raies en rouge un spectre continu (toutes les énergies sont présentes) en vert qui est du au freinage des électrons par le matériau
L’exploitation des rayons X dans le MEB est détaillé à la page microanalyse X
Vous pouvez consulter les autres interactions électron/matière aux pages électrons secondaires et électrons rétrodiffusés ou revenir aux pages interactions électron/matière ou fonctionnement du microscope.
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