Le microscope possède un détecteur de rayons X qui permet de récolter les photons produits par le faisceau d’électron primaire. La zone analysée sera donc celle qui est parcourue par le faisceau. Si l’on est en mode balayage (formation d’une image) alors l’analyse sera celle de toute la surface de l’image. Il est possible de stopper le balayage et donc d’analyser en un point de l’image de son choix. Le volume analysé dépend des conditions expérimentales, que l’on a décrites à la page résolution.
Le détecteur est capable de déterminer l’énergie des photons qu’il reçoit. Il va donc être possible de tracer un histogramme avec en abscisse les énergies des photons et en ordonnée le nombre de photons reçus. Le temps nécessaire pour acquérir un spectre de bonne qualité est d’environ 2 minutes.
L’interprétation des spectres est facilitée par une base de donnée qui contient pour chaque élément les énergies et les intensités des raies qu’il produit. Il est possible de faire apparaître pour chaque énergie du spectre la liste des éléments qui possèdent une raie dans ce domaine énergétique. Il est possible également pour chaque élément de faire apparaître sur le spectre un diagramme en bâton représentant la position en énergie et l’intensité des raies de cet élément.
ATTENTION 1: Les éléments en quantité inférieure à environ 0.2% en masse ne pourront pas être détectés. Les éléments H Li Be ne pourront jamais être détectés car devant le détecteur une « fenêtre » empêche le passage des photons de faibles énergies.
ATTENTION 2: La microanalyse ne permet de déterminer l’arrangement des atomes ainsi par exemple pour un spectre contenant de l’oxygène et du fer on ne pourra pas savoir s’il s’agit de FeO de Fe2O3 ou de Fe3O4 en fait il pourrait même s’agir de 4Fe(OH)3 puisque l’on ne peut pas détecter l’hydrogène.
La profondeur analysée dépend des conditions expérimentales, que l’on a décrites à la page résolution
Il est important de choisir une tension d’accélération compatible avec les éléments (donc les énergies des raies) que l’on veut analyser.
Il est possible moyennant des calculs complexes de connaître les quantités respectives des différents éléments analysés
Il est également possible d’obtenir une image x représentant la répartition d’un élément chimique à la surface de l’échantillon
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