L’image suivante obtenue avec un détecteur d’électron rétrodiffusé (BSE) nous permet déjà de constater que sur cet échantillon il y a un contraste de phase donc des éléments de numéro atomique différent répartis de façon non homogène à la surface.
Si l’on sait déjà que les zones claires ont un numéro atomique moyen élevé et que les zones sombres sont de numéro atomique faible nous ne connaissons pas la nature des éléments en chaque point de l’image. C’est l’objectif de la cartographie élémentaire.
En mode cartographie on effectue avec le faisceau d’électron un balayage qui va amener le faisceau sur chaque point de l’échantillon (comme en imagerie classique). L’analyse de l’émission X pour chacun de ces points permet de déterminer leur composition.
Il est ensuite possible d’attribuer une couleur à un élément donné et de faire une image de sa répartition sur la surface. L’intensité de l’éclairement d’une couleur indique la quantité relative de l’élément.
 | Image BSE |
 | Image de l’aluminium |
 | Image du nickel |
 | Image du cuivre |
 | Image du zinc |
Ces images d’un bronze permettent de mettre en évidence deux phases distinctes:
– Une phase riche en aluminium et nickel en foncé sur la photo en BSE
– Une phase riche en cuivre et zinc en clair sur la photo en BSE
La cartographie est un outil qui peut s’avérer très utile car elle permet d’appréhender d’un seul coup d’œil la distribution d’un élément donné ou les corrélations entre plusieurs éléments. Il est possible de stocker le spectre de chaque point de l’image pour pouvoir y revenir ensuite et faire par exemple des quantifications.
Mais:
-Il faudra garder à l’esprit que la résolution en microanalyse X est faible comme on peut le constater sur les images ci-dessus (pourtant obtenues avec une tension accélération faible de 10kV), et comme on peut le comprendre sur la page résolution.
– L’obtention d’une cartographie X est une opération longue même avec des détecteurs à fort taux de comptage.
– Il est préférable que l’échantillon soit plan pour éviter des effets d’ombrages dus à des zones moins visibles du détecteur de rayons X car cachées par le relief.
– Il est indispensable que l’échantillon soit conducteur pour éviter toute dérive du faisceau durant l’acquisition de l’image.
Microanalyse X aspects quantitatifs
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