Le microscope électronique à balayage (MEB) (ou SEM Scanning Electron Microscope) est un appareil, pouvant fournir rapidement des informations sur la morphologie et la composition chimique d’un objet solide. Son utilisation est courante en biologie, chimie, métallurgie, médecine, géologie… Les premiers appareils ont été mis au point dans les années 40 mais les premiers appareils commerciaux ont été disponibles vers le milieu des années 60.
Le microscope électronique à balayage de l’ECAM est un Philips XL30i. Il est couplé à un système de microanalyse (EDX) de marque PGT.
POURQUOI UTILISER UN MICROSCOPE ELECTRONIQUE ?
Le grandissement des microscopes optiques est limité à une valeur d’environ 1000 fois. En effet il n’est pas possible de séparer deux points plus proches l’un de l’autre que la longueur d’onde de la lumière utilisée.
De plus la profondeur de champ aux forts grandissements devient très faible et nécessite alors un polissage parfait des échantillons ce qui est incompatible avec une observation « dans l’état ».
Un MEB utilise un faisceau d’électron à la place des photons utilisés dans un microscope optique.
Ceci permet de résoudre les deux inconvénients de la source lumineuse.
la longueur d’onde du faisceau électronique est 100000 fois plus faible que celle de la lumière, et d’autre part l’ouverture de ce faisceau est très faible.
Il en résulte que les appareils modernes permettent des grandissement jusqu’à 100 000 fois sur la plupart des matériaux solides tout en conservant une profondeur de champ compatible avec l’observation de surfaces tourmentées.
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