Les électrons secondaires sont émis lorsque le faisceau primaire qui a perdu une partie de son énergie excite les atomes de l’échantillon. Les électrons secondaires possèdent une énergie faible (autour de 50 eV) suivant un large spectre.
Leur faible énergie est une qualité:
– Il sera possible de les dévier facilement (avec une ddp) comme le montre l’image ci dessus pour en récupérer un grand nombre sur le détecteur et donc d’obtenir une image avec un bon rapport signal/bruit.
– Ils ne peuvent parcourir qu’un faible trajet dans l’échantillon car ils sont très vite arrêtés et donc proviennent d’une zone proche du faisceau ce qui donne des images avec une très bonne résolution (avec un faisceau de 30 angströms de diamètre la résolution est de l’ordre de 40 angströms)
Les images obtenues grâce à la détection d’électrons secondaires représentent donc essentiellement la topographie de l’échantillon (peu de contraste de phase). Vous pourrez remarquer la grande profondeur de champ qu’offre la microscopie électronique sur les images qui suivent.
Vous pouvez consulter les autres interactions électron/matière aux pages électrons rétrodiffusés et rayons X ou revenir aux pages interactions électron/matière ou fonctionnement d’un MEB.
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