Les électrons rétrodiffusés ou back-scattered electrons ou BSE sont des électrons du faisceau primaire qui ont réagi de façon quasi élastique avec les atomes de l’échantillon. Ils sont renvoyés dans une direction proche de leur direction d’origine avec une faible perte d’énergie.
Le détecteur d’électrons rétro-diffusés est généralement placé à la verticale de l’échantillon dans l’axe du faisceau (afin de récolter le maximum d’électrons rétrodiffusés) et donc la vision du relief ne sera pas très bonne avec ce détecteur.
Par contre les éléments chimiques possédant un numéro atomique élevé (charge positive du noyau plus grand) produisent d’avantage d’électrons rétrodiffusés que ceux ayant un numéro atomique faible. Les zones de l’échantillon avec numéro atomique élevé seront donc plus blanches que celles ayant un numéro atomique faible. On appelle cela le contraste de phase. Cette particularité est fortement appréciée pour juger de l’homogénéité chimique d’un échantillon avant par exemple de l’analyser.
Vous pourrez vérifier sur la photo suivante réalisée sur une surface plane que les électrons rétro-diffusés permettent de distinguer les éléments ou les phases suivant leur numéro atomique (Z élevé en blanc et Z faible en noir)
Leur énergie (jusqu’à 30 KeV) est beaucoup plus grande que celle des électrons secondaires. Les électrons rétrodiffusés peuvent être libérés à une plus grande profondeur dans l’échantillon. La résolution atteinte avec les électrons rétrodiffusés sera donc plus faible que celle obtenue avec les électrons secondaires.
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