Analyses de débris, de pollutions, d’inclusions

Il est très utile de pouvoir analyser des quantités très petites de matière que l’on recueille directement sur les endroits qui posent problèmes. Ceci est facilement réalisé grâce à des supports sur lesquels on place des autocollants double face conducteurs. Il suffit ensuite de tapoter sur les zones ou l’on veut récupérer de la matière à analyser. Quelques micromètres cube de matière peuvent suffire.

Ce genre de manipulation est très utilisé pour analyser des résidus de corrosion, des pollutions dans une fabrication, sur une machine…

Une fois le support dans le MEB on utilise généralement le détecteur d’électrons rétrodiffusés pour former l’image ce qui permet de juger de l’homogénéité chimique du prélèvement. Ensuite on pourra « pointer » sur les zones de son choix pour en connaître la composition chimique une minute plus tard.

Morphologie de pièces, de dépôts…

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